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1500℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。
系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。本系统还配有精密分子泵组，可以达到1.0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数：
真 空 管 式 炉 产品型号 CY-T1500-60IT 炉管材质 高纯氧化铝 炉管直径 60mm(可选配50mm、80mm、100mm) 炉管长度 1000mm 炉膛长度 400mm 加热区长 300mm 恒温区长 150mm 工作温度 ≤1450℃ 控温精度 ±1℃ 控温模式 30段或50段程序控温 显示模式 LCD 密封方式 304不锈钢真空法兰 法兰接口 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 可抽真空 4.4E-3Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 供 气 系 统 产品型号 CY-3Z 气体通道 3通道 测量部件 气体质量流量计 测量量程 A通道：0～100SCCM H2气 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 B通道：0～300SCCM N2气 C通道：0～500SCCM Ar气 测量精度 ±1.0%F.S 管道耐压 3MPa 工作压差 50～300KPa 连接管道 304不锈钢 控制阀门 304不锈钢针阀 接口规格 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 供电电源 AC:220V 50/60Hz 排 气 系 统 产品型号 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前极泵 旋片泵 抽气速率 分子泵：600L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽气接口 KF40 排气接口 KF16 真空测量 复合真空计：电阻规+电离规 极限真空 1.0E-5Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz
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