整体参数

型号

SDW-11C

名称

全自动晶圆专用接触角测量仪

类型

晶圆型

机身材质

航空铝

输入电源

220V 50-60Hz

功率

10W

仪器尺寸

约890mm（W）*400mm(L)* 580mm(H)

仪器重量

约30KG

样品平台系统

平台尺寸

直径320mm

前后Y移动

自动：行程160mm,精度0.1mm

上下Z移动

手动：行程30mm,精度0.1mm

水平调整

整机水平调整，摄像头水平调整（配送专业级XY水平仪）

可放置样品

6-12寸

样品台材质

铝合金带四向对中技术

注射系统

注液移动行程

Y行程：40mm Z行程（自动）：35mm，精度0.1mm（针头对中及液滴自动转移）

滴样控制移动

行程：60mm,精度：0.01mm

滴样方式

自动

滴液精度

0.01ul

加液方式

自动（配送5ml玻璃烧杯加液）

微量进样器

容量：500ul（全自动液位实时检测）

针头

标配0.5mm不锈钢针头（可替换）20个、超疏水针头0.25mm（可替换）20个

采集系统

相机

日本SONY高速工业级芯片(Onsemi行曝光)

镜头

0.7x-4.5x

传感器类型

1/1.8 英寸逐行扫描CMOS

分辨率

1280×1024

焦距

±2.5mm可调

图像拍摄方法

单张、间隔、连续

拍摄间隔时间

500-3600000ms

视频录制方式

录像、回播、合成

清晰度测量

全自动软件对焦

拍摄速度

80帧/s

光源系统

光源

美国进口工业级白色冷光源（有效避免因光源散发热量蒸发液滴）

组合方式

采用日本进口石英扩散膜使得亮度更均匀，液滴轮廓更清晰

使用寿命

5万小时以上

亮度调节

PWM无极调节+软件调节

亮度识别

算法自动识别亮度保证亮度

光源波长

400～760nm

功率

1W

接触角测量

接触角测量方法

悬滴法、座滴法等

测量软件

CA V2.0静/动态接触角测量软件+表面能测量软件

软件操作系统要求

windows 10(64位)

接触角测量方式

自动与手动

接触角计算方法（static contact angle）

自动拟合法（ms级别一键全自动拟合，不存在人工误差）、三点拟合、五点拟合、自动测量（包括圆拟合法/斜圆拟合法（Circle method/ Oblique Circle）、椭圆拟合法/斜椭圆拟合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake拟合法、凹凸面测量等

动态接触角测量

（Dynamic contact angle）

前进角（Advancing angle），后退角（receding angle），滞后角（hysteresis angle）

(可批量拟合多张图片或视频连续拟合计算Video analysis)

基线拟合

自动与手动

角度范围

0°＜θ＜180°

精度

0.1°

分辨率

0.001°

表面能

表面能测量方法

Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（软件中预装37种液体数据库，可自行建立液体性能参数）数据可直接调入用于表面能估算，液体库数据可自行添加、删除和修改。可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、路易斯酸分量、路易斯碱分量等

表面能单位

mJ/m²

表界面张力

测量方法

自动拟合+手动拟合

精度

0.01 mN/m

测量范围

0.1mN/m-2000mN/m

润湿性分析

粘附功

一键自动分析

铺展系数

一键自动分析

粘附张力

一键自动分析

精度

0.001 mN/m

单位

mN/m

1.usb2.0数字CCD摄像头 1个

2.连续变倍光学系统 1个

3.手动加样系统 1套

4.手动CCD倾斜系统 1套

5.表界面分析测量系统应用软件 1套

6.说明书纸质一份及说明书电子版 1份

7.保修卡及合格证1份

8.亲水进样针20个，疏水进样针20个

9.500ul进样器1个

10.电源线及数据线1条

11.XY专用水平仪1个

11.晶圆自动旋转系统 1套