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产品用途:
BX-G103系列是针对研发和质量控制领域推出的型多入射角激光椭偏仪。 BX-G103系列可在单入射角度或多入射角度下对样品进行准确测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;也可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;亦可用于实时测量纳米薄膜动态生长中膜层的厚度、折射率n和消光系数k。多入射角度设计实现了纳米薄膜的厚度测量。
仪器特点:
l 测量方法:Delta测量范围0-360o,无测量死角问题(即使在0o或180o附近时也具有的准确度),也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响
l 原子层量级的灵敏度和准确度:新颖的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的制造工艺实现并保证了的准确度和稳定性
l 百毫秒量级的快速测量:在保证精度和准确度的同时,可在几百毫秒内快速完成一次测量,可满足快速多点检测和批量检测需求
l 方便的样品对准:视频式自准直样品方位精密对准系统,精度高、操作方便
l 简单方便的仪器操作:一键操作即可完成复杂的样品测量和分析;按照质控要求进行数据多种导出;丰富的模型库和材料库方便用户的操作;管理员/操作员不同的模式,保证仪器安全
技术参数: