型号

EVO 10

EVO 15

EVO 25

样品室规格

310 mm*220mm

（直径*高度）

365 mm* 275 mm （直径*高度）

420 mm* 330 mm （直径*高度）

电动载物台行程XYZ

载物台可通过鼠标或可选的操纵杆和控制板调节

80 x 100 x 35 mm

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (或80) mm

样品高度

100 mm

145 mm

210 mm

样品直径

230 mm

250 mm

300 mm

未来可升级途径

电子束衬管、扩展压力、

水蒸气可变压力和气体扩展压力

图像处理

32,000 × 24,000 像素；通过积分平均值法采集信号（扫描速度 2 或以上）

系统控制

通过鼠标和键盘操作的 SmartSEM(3) 图形用户界面

通过 23" 触摸屏、鼠标和可选硬件控制面板操作的 SmartSEM Touch(2) 图形用户界面

配有旋转控制功能的硬件控制面板，用以在成像期间增强手动反馈和

实现更直观的控制

易于使用的功能 – 自动饱和度、自动对齐、样品选择和自动成像

Windows® 10 多国语言版

实用需求

100–240 V，50 或 60 Hz 单相， 无需水冷

描述

选择 EVO 10（可选配BSD和EDS）是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。即使这个EVO真空室很小，它也不同于台式电镜。您现在在 EVO的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。

EVO 15 充分展示了EVO 家族的灵活性概念， 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室， 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式， 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案。

EVO25 是工业的主力解决方案， 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能， 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外， 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。

高真空模式 (HV)

导电样品质量的成像与分析

可变压力模式 (VP)

不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析

扩展压力模式 (EP)
含水或被污染的样品在其自然状态下成像