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一. 产品应用
本产品主要用于溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。把洁净干燥的基片浸入溶液中,通过预先设置参数,将浸渍后的基片以一定速度慢慢提拉起来,在基片上附着一层膜,称为 “湿凝胶膜”,随着“湿凝胶膜”膜层中溶剂的挥发,膜层在基片上固化成为“干凝胶膜”。“干凝胶膜”经过进一步的干燥及高温热处理便得到所需的纳米薄膜材料。
提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数(多次多层镀膜)、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求,片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动,可极大提高实验精度与实验效率。
适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等固体材料表面镀膜。应用于科学研究、产品生产。
二. 产品特点
1. 采用伺服电机驱动,配合德国的垂直提拉装置和程序控制系统,确保运行精度及稳定性; 伺服电机运转时的高精度、平滑性、无抖动等特点是步进电机不可比拟的。
2. 升级为德国的垂直提拉装置部件,采用特种功能材料制作,具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、终身免维护、使用寿命长等特点。
3. 采用箱体式设计,镀膜溶液及样品均置于密闭箱体内,避免外界环境的干扰;前门及侧面采用透明玻璃,便于观察镀膜过程;
4. 多参数全自动程序控制。共有六个参数设置:下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间,各参数均连续可调,精密控制。镀膜程序设定后,从下降到浸渍,再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。
5. 可全自动运行镀膜,也可进入手动操作模式镀膜;
6. 7英寸触摸屏控制。运行时,各项参数实时显示,更直观了解镀膜进程;
7. 高、低速均运行平稳,工作时液面无振动,使成膜更均匀;
8. 标配3个夹具夹持基片,更牢固更稳定。夹具夹口两面都有一层橡胶垫,不会夹坏基片。
技术参数
1. 提拉速度范围:1~10000 μm/s,*小分辨率1 μm/s;
2. 速度精度:-0.01%~+0.01%;
3. 行程:约370 mm(以实际为准);
4. 适用基片尺寸:MIN 10×10 mm,MAX 300×300 mm,厚度 MAX 10mm;
5. 浸渍时间:1~3600 s,*小分辨率1s;
6. 循环镀膜次数:1~1000次,*少1次;
7. 循环间隔时间:1~3600 s,*小分辨率1s;
8. 电源:220V/50Hz