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型号:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
产品概述:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源,80mm OD1600mm L的滑动式双温区管式炉,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。
设备名称 | 滑动式双温区PECVD系统——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL (2019.12.23—科晶实验室审核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度; ▪ 滑轨式可快速加热和快速冷却; ▪ 两个加热区,温度梯度可达 200ºC; ▪ 可在温度范围较大的条件下制备材料,如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加热炉参数 | ▪ 温度:1200ºC(<30min),连续工作温度:1100℃; ▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统; ▪ 输入功率:208-240V,单相,功率:2.5KW; ▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗; ▪ 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。
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射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。
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真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵; ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵; ▪ 真空度可达10-2Torr。
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供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%); ▪ 流量范围:
▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz; ▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管; ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出; ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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产品尺寸和重量 | ▪ 设备总体尺寸:2200mm L´800mm W´1500mm H ▪ 净重:610kg
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认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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承诺 | ▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件) ▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |