1200℃等离子增强HPCV

1200℃等离子增强HPCV

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-02-28 09:45:51
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长沙沛钰进出品贸易有限公司

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产品简介

产品详情型号:OTF-1200X-S-II-4CV-PE产品概述:OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统

详细介绍

产品详情

型号:OTF-1200X-S-II-4CV-PE

产品概述:OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由射频电源(带自动匹配功能)、上游蒸发舟、4通道质子流量计控制系统及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备可用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统—OTF-1200X-S-II-4CV-PE (2019.12.23—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出;

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

▪ 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

▪ 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

▪ 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段。

相关视频

QQ截图20200629135906.jpg

           操作视频

加热炉参数

▪ 温度:1100ºC(<30min);连续工作温度:< 1000℃;

▪ 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

▪ 输入功率:110V,单相,功率:1.5KW;

▪ 回转炉旋转速度:0-5 rpm;

▪ 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。


图片1.jpg  图片1.jpg

蒸发舟参数

▪ 0.7mL氧化铝坩埚(由钨丝加热圈包围);

▪ S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温;

▪ 温度可达1100℃,长期使用温度1000℃。


蒸发舟照片.jpg  蒸发舟照片2.jpg

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。



300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

图片2.jpg 

图片3.jpg 

图片4.jpg
真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


图片5.jpg


供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


图片6.jpg      图片7.jpg


产品尺寸和重量

▪ 炉体尺寸:1400 mm L ´600mmW´1250mm H;

▪ 混气系统尺寸:600mmL´850mm W´700mm

▪ 净重:90kg

▪ 运输重量:136kg

设备尺寸.jpg

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

图片1.png

承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

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