规格号

SPR1000

SPR2000

测量范围

X轴

100~220mm

Z轴

320~620mm

Z1轴

C:0~±30mm/R:±420μm

C:0~±30mm/R:±620μm

轮廓精度

Z1线性精度¹

±（1.5+|0.2H|）μm

±（0.8+|0.2H|）μm

圆弧²

±（1.5+R/8)μm

±（1.5+R/12)μm

角度³

±2

±1

直线度

0.8μm/100mm

0.5μm/100mm

粗糙度精度

线性精度

≤±（7nm+3.5%）

≤±（5nm+2.8%）

残值噪声

≤0.025μm

≤0.005μm

重复性

1δ≤2nm

1δ≤1nm

截止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

评定长度

λCX2、3、4、5、6、7

驱动速度

X轴

0.1~10mm/s

0.05~15mm/s

Z轴

0.5~10mm/s

0.2~15mm/s

测量功能

轮廓

各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径、可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。

粗糙度

粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr

原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr