双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；

▪ 两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果。

▪ 连续工作温度：1100℃

▪ 两个炉体都可设置30段升降温程序

▪ 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

▪ 电源：AC220，50Hz   功率：3KW

更多参数请联系科晶销售部

▪ 带有除水系统：保持水含量< 2="">

▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调 （稳定性：±1%）	0-500W可调 （稳定性：±1%）	0-100W可调 （稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10-2Torr。

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

▪ 炉体尺寸：1600mm(L) ´430mm (W) ´ 500mm(H)

▪ 手套箱尺寸：780mm(L)´ 700mm(W) ´ 650mm(H)

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）