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面议我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和 封闭的水冷却电机。
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
| 峰值速度 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm | |
| 16670 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 430 kg |
| 极限功率输入 | 3.8 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.48 l |
