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PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀
功能和优势
技术数据
峰值速度 | 800 m3h-1 |
471 cfm | |
13333 l min-1 | |
极限压力 | 1.00E-03 mbar |
7.50E-04 Torr | |
0.10 Pa | |
700 Torr 排气压力下的极限 | |
极限 | 1.6 kW |
AUC(有源设备控制器) | 1.05 kW |
水入口* | 2 slm |
氮 | 4 或 14 slm |
占地面积(不包括排气装置) | 0.20 m2 |
重量 | 230 kg |
进气口连接 | ISO100 |
出口连接 | NW25 |
极限噪音 | < 55 dB(A) |