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面议工作环境更好,环境影响低:
安静运转
操作简单:
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油:
采用密封结构,实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本:
长维修间隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽处理能力
真空外壳中 不需要使用润滑剂,密封可保证的清洁和干燥真空, 防止交叉污染
无大气压到 真空的轴封可使轴承隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能 以更低温度运行,使用时间更长
简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合,只需Z低程度的 特殊工具,就能实现轻松的现场服务,因此可降低运行成本, 尽可能延长正常运行时间
改进了电机和 传动效率,可降低功耗和运行成本
*的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法,可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油,环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB(离子束维修)
溶剂回收
表面科学仪器
真空外壳中不需要使用润滑剂,密封可保证的清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着例行维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
用于实现蒸汽泵送的气镇功能