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特长
● 低温领域下的均热化。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
● 多种自主功能选购件
用途
◆ 活性气体
◆ 非活性气体
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气
◆ 作为前级泵使用
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气
技术参数：
*1 极限压力是氮气（密封气体）在5.0 SLM时的值。
*2 无结露。
*3 用调节阀所调整的压力表的值。
*4 氮气（密封气体）流量5.0 SLM是固定值。
外形尺寸图：
抽气速率曲线：
