X射线/XUV/EUV光栅
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X射线光栅是非常精密的光学器件，对制作工艺的要求很高，尤其是制作高质量的二维X射线光栅的难度更大，因此，高质量的二维X射线光栅倍受相关科研人员的期待。
■凭借的线倍频技术，可以实现精确到5nm的X射线束聚焦
■基于电子束光刻的制造工艺，实现多阶闪耀光栅的设计加工，光学效率高
■金刚石光学器件，辐射稳定性高
哈特曼光栅
Hartmann wavefront sensor plates
- 2D arrays of holes for wavefront sensing
- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology
- Possibilities for high-Z materials (Au, W)
关于订制要求，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
