三床蓄热式焚烧炉废气处理设备是采用热氧化法处理中低浓度的有机废气，用陶瓷蓄热床换热器回收热量。其由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。其主要特征是：蓄热床底部的自动控制阀分别与进气总管和排气总管相连，蓄热床通过换向阀交替换向，将由燃烧室出来的高温气体热量蓄留，并预热进入蓄热床的有机废气;采用陶瓷蓄热材料吸收、释放热量;预热到   温度(≥760℃)的有机废气在燃烧室发生氧化反应，生成二氧化碳和水，得到净化。

三床蓄热式焚烧炉废气处理设备是典型的三床式RTO主体设备由一个燃烧室、三个陶瓷填料床、一个过滤室、管道和九个风向切换阀、一个补新风阀、一个直排阀、一个废气主控阀、一个泄温(炉膛泄压)阀组成。该装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可使热能得到限度的回收，热回收率大于95%;处理VOC时不用或使用很少的燃料。有机废气通过RTO氧化室高温区使废气中的VOC成份氧化分解成为无害的CO2 和H2O，氧化后的高温气体热量被陶瓷蓄热体“贮存”起来用于预热新进入的有机废气，从而节省燃料，降低使用成本。