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技术概要
1.产品特点
Ø 具有快速对焦、自动寻边、强大的编程和自动测量功能
Ø 采用亚像素细分技术,提高图像边界分辨能力
Ø 操纵杆/鼠标操作,方便易用
Ø 程控恒流驱动式八区表面冷光源,可适应复杂的工件测量
Ø 激光指示器指示测量位置,方便快速定位
Ø 在线SPC数据处理分析,大批量治具测量功能
Ø 三轴伺服控制,定位精度高速度快,XY速度可达200mm/s,运行平稳
Ø 自主开发的嵌入式模块控制系统,将复杂的控制系统集成在仪器内部,稳定性更高
Ø 采用花岗石底座,性能稳定,不易变形
Ø 选配MCP简易测头,可做简单三维测量
Ø 选配自动变倍可实现多倍率下高效测量
2.规格参数
仪器型号 | VMS-5040H | |
工作台 | 玻璃台尺寸(mm) | 570*470 |
运动行程(mm) | 500*400 | |
仪器重量(kg) | 1000 | |
外形尺寸(mm) | 1270*1150*1860 | |
Z轴升降行程 | 200 mm | |
X、Y、Z数显分辨力 | 0.5μm | |
工作距离 | 92 mm | |
X、Y坐标示值误差 | (3+L/75) μm (L为被测长度,单位:mm) | |
影 像 系 统 | 摄像机 | 彩色CCD |
变倍镜头倍率 | 0.7X—4.5X | |
物方视场 | 11.1mm~1.7mm | |
视频倍率 | 23.5X~148X | |
光源系统 | 表面光源与透射光源均用LED,亮度可 |