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山本渡金晶圆电镀设备水箱A-52-ST-P01A硅片水箱
此水箱适用于电镀2至12英寸硅片。它是一种在不断过滤和溢流的同时从罐底引起温和对流的结构。请联系我们，因为我们可以使用丙烯酸以外的材料进行制造。
| 尺寸（内部尺寸）/容量 | 模型 | 尺寸（内部尺寸） | 水箱容量 |
| 2英寸 | 100(深)×100(宽)×100(高)毫米 | 约1.5L | |
| 4英寸 | 140(深)×140(宽)×140(高)毫米 | 约4.0L | |
| 5英寸 | 160(深)×160(宽)×160(高)毫米 | 约7.5L | |
| 6寸 | 210(深)×210(宽)×210(高)毫米 | 约13L | |
| 8英寸 | 280(深)×280(宽)×280(高)毫米 | 约28L | |
| 水箱材质 | 丙烯酸纤维 | ||
| 耐热温度 | 65℃ | ||