膜厚测量仪

NanoCalc膜厚测量仪

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2024-02-18 14:45:44
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北京锦坤科技有限公司

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产品简介

本膜厚测量仪适用于nm及um级薄膜厚度测量,测量的空间分辨率(测量点的大小)可达10um,厚度测量准确度为nm级。

详细介绍

本膜厚测量仪适用于nm及um级薄膜厚度测量,测量的空间分辨率(测量点的大小)可达10um,厚度测量准确度为nm级。

此款膜厚测量仪适用于:

显示器、触摸屏、太阳能电池、R2R 光学镀膜等产业的薄膜厚度测量

光学材料参数测量、彩色滤光片色度及穿透率测量。(如:Oxide, Nitride,

ITO, RGB CF, PR, PI…@ Si, Glass, PET…等样品)

技术参数:

1.厚度测量范围:10 nm ~ 30 μm (采用Ocean Optics 光谱仪)

(Optional: up to 250 μm)

2.厚度测量重复性:< 1 nm @ 500 nm Oxide on Si

3.测量点大小 : Macro(~3 mm)

(Optional 选项加显微镜 : 10 μm – 3 mm)

4.测量时间:< 1 sec

5.其它功能:折射率(n)及消光系数(k)测量

反射率(R)及穿透率(T)测量

色度参数(x, y, Y, L*, a*, b*)测量

(Optional:在线检测、实时8-16 通道测量)

6. 机台尺寸:长宽高约31*27*30 (cm)

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