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1.数字式气体质量流量控制器
2.高精度
3.zui多可实现16台联动控制
S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器特点:
技术参数:
编号 | 项目 | S48 300/HMT |
1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装角度 | 任意 |
5 | 流量控制范围 | 2%~99% |
6 | 准确度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
7 | 线性 | ±0.5% F.S. |
8 | 重复精度 | ±0.2% F.S. |
9 | 响应时间 | ≤1s |
10 | 工作压差范围 | (0.05~0.3)MPa(<10L/min): (0.1~0.3)MPa(10~50)L/min; (0.15~0.3)MPa 50L/min |
11 | 耐压 | ±3MPa |
12 | 工作环境温度 | 55℃~50℃ |
13 | 精度保证温度 | 15℃~35℃ |
14 | 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton或其他 |
15 | 漏率 | <1×10-8 Pa•m3/s |
16 | 接头 | Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他 |
17 | 输入信号 | 数字:RS232/RS485 模拟:(0~+5.00)V,输入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″ |
18 | 输出信号 | 数字:RS232/RS485 模拟:(0~+5.00)V,负载能力≤3mA |
19 | 通讯接口 | 数字:RS232/RS485 波特率:4800/9600/19200Bps 协议丛机 设备号可选范围:0~15 |
20 | 供电电源 | ±15V(±5%) (+15V,150mA;-15V,200mA) |
21 | 重量 | 0.9 |