HFC-303是一种质量流量控制器，通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀，可实现大流量的高精度气体控制，这在过去很难实现。
作为HFC-203系列的后续产品，HFC-203系列已广泛应用于工业领域，是一种新型号，可实现更高的精度和高速响应。
- 采用两级控制阀，支持高达1000 SLM的高流量
- 即使流量大，也能实现±1.0％的高精度
- 确保传统型号的高速响应性能
- 如果流量超过1000 SLM，请与我们联系
标准规格
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 100〜300 SLM（可选） | 301〜1000 SLM（可选 | |
|---|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | ||
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 准确性 | ±1％F.S.（25°C） | ||
| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.25%F.S. | ||
| 压差 | 个人反应 | ||
| 耐压 | 3.4MPa（G）（HP选项6.8MPa（G）） | ||
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
| 允许周围温度 | 5~45℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | ||
| 气体接触材料 | 主体SUS316，Ni，SUS302 | ||
| 隔膜FKM | |||
| 阀座FKM | |||
| 密封材料FKM（选件CR，Kallets） | |||
| 电气连接 | Dsub 15针 | ||
| 流量设定 输入信号 | 0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | ||
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA | ||
| 配件（车身尺寸） | 标准1/2 SWL（3 / 4.16 UNF） | 标准3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF） | |
（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
接线连接（D-sub 15PIN）
| PIN | 信号名称 | PIN | 信号名称 | |
|---|---|---|---|---|
| 1 | NC | 9 | 电源-15VDC | |
| 2 | NC | 10 | NC | |
| 3 | NC | 11 | 电源+ 15VDC | |
| 4 | NC | 12 | 电源COM | |
| 5 | 电源COM | 13 | NC | |
| 6 | 输出信号0-5V | 14 | 设定信号 | |
| 7 | NC | 15 | NC | |
| 8 | 强制阀门打开/关闭 | |||
警告
3150/3250/3350/3450系列D-sub 15针和HFC / HFM系列
Z的D-sub 15引脚的布线布置不同。
连接不当可能会导致故障。
尺寸图
