这是一款带有集成显示器的质量流量控制器，可与DF系列所需的24V电源配合使用。
采用DF-200C系列实现准确度±1％SP，1秒内（全范围）响应，同时通过简单的操作能够变更包含基准气体在内的7种气体类型及其流量范围，直接利用多种气体和多范围的*多面性，增强了便利性。
- 高精度（±1％SP），高速响应（全范围1秒内）
- 支持多范围和多种气体
- 标准配备通讯功能（RS485）
- 支持RoHS.CE规格
- 驱动单电源电压DC24V
- 可选择有无指示灯
- 可选输入/输出信号
DF-300C标准规范
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | |
| 目标气体（* 1） | N2（Air，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） | |
| 流量范围（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | |
| 响应能力（* 4） | 总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 5） | ±1.0％SP（> 35％F.S.）， ±0.35％F.S.（≦35％F.S.） | |
| 再现性 | ±0.25%F.S. | |
| 动作压差（* 6） | 50~300 kPa（Ar、CO2：100~300 kPa） | |
| 入口压力 | 500kPa(G) | |
| 耐压 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | |
| 温度 | 允许周围温度 | 5～50℃ |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | |
| 允许储存温度 | -10～60℃ | |
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | |
| 气体接触材料 | SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM | |
| 电气连接 | D-sub 15引脚 公头 高密度型，HR-10A×2 | |
| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻：约1MΩ）or4～20mA（输入电阻:约250Ω） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻：10kΩ以上）or4～20mA（负载电阻:500Ω以下） | |
| 数字通信 | 根据RS485旋转开关或显示屏设置地址：最多99台（9600 bps） | |
| 活动输入 | 接点输入×3个（非绝缘） | |
| 活动输出 | NPN开路集电极×3个（非绝缘，额定值35 V，50 mA | |
| 所需电源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） | |
| 接头（* 8） | 1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 | |
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | |
| 重量（* 9） | 约950g | |
（* 1）应为干燥气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等的干净气体。
（* 2）使用专用软件，可以更改气体类型或在的满量程范围的30％至100％（CO2的30％至80％）内更改满量程范围。
（* 3）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。
（* 4）校准气体：对于N2的保证。
（* 5）校准气体：对于N2、流量范围（满量程）的精度。
（* 6）操作压差可能因规格而异。
（* 7）不包括渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
（* 8）如需其他接头，请另行询问。
（* 9）不含接头的重量。
尺寸图
接线连接
