DF-200系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒（全范围）内实现±1％SP的精度和响应。
此外，它兼容多气体和多量程，可轻松更换包括参考气体在内的7种气体及其流量范围，使其成为具有出色通用性的产品。
- 高精度（±1％SP），高速响应（1秒内所有区域）
- 支持多量程和多种气体
- 标准配备通讯功能（RS485）
- RoHS。符合CE标准
DF-200C标准规范
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | ||
| 目标气体（* 1） | 多气体： N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） | ||
| 流量范围（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范围 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反应能力（* 4） | 总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） | ±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） | ||
| 再现性 | ±0.25％FS | ||
| 工作压差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口压力 | 500kPa（G） | ||
| 耐压 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 允许周围温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM | ||
| 电气连接 | D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准），RJ-45模块化插孔x 2 | ||
| 流量设定信号 | 0至5 VDC（输入阻抗约1MΩ） | ||
| 流量输出信号 | 0至5 VDC（负载电阻10kΩ或更高） | ||
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址：最多99（9600 bps） | ||
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | ||
| 接头（* 8） | 1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 | ||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 重量（* 9） | 约850g | ||
（* 1）应为干燥气体，清洁气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等。
（* 2）使用专用软件，可以更改气体类型或将满量程范围更改为满量程（FS）的30％至100％（CO2的30％至80％） 。
（* 3）流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1个大气压下转换为体积流量cc / min和L / min的值。
（* 4）校准气体：保证N2。
（* 5）校准气体：N2，流量范围精度（满量程）。
（* 6）工作压差可能因规格而异。
（* 7）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
（* 8）如需其他接头，请另行询问。
（* 9）没有配件的重量。
尺寸图
接线连接
