MODEL 3660系列是一款质量流量控制器，主要结构紧凑，成本低廉。
从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。
- 配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应
- 采用常闭阀门，方向操作安全
- 通过电磁执行器确保高可靠性
- 燃气控制的低压差规格（LP选项：3660）
标准规格
| 模型 | 3660 | 3665 | |
|---|---|---|---|
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可选） | 30SLM~100SLM（可选） | |
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方法 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | ||
| 控制范围（* 1） | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 响应速度 | 在2秒内 （在±2％F.S.内） | 在3秒内 （在±2％F.S.内） | |
| 准确性 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 温度系数 | ±0.1％F.S./°C（15~35°C） | ±0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作压差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可选：中压差压规格（MP），低压差规格（LP）可根据条件制造 | |||
| 压力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允许周围温度 | 5~45℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | ||
| 气体接触材料 | 主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢 | ||
| 阀座FKM（选件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（选件CR或NBR） | |||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） | ||
| 流量设定 输入信号 | 0~5VDC （输入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | ||
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA | ||
| 接头 （体型） | 标准1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 标准3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 | |
| 重量 | 约1000g | 约1500g | |
（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
尺寸图
