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天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国aixACCT激光干涉仪
aixACCT激光干涉仪
相关产品介绍:
双光束激光干涉仪
aixACCT Systems已将*的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统,以进行长达8英寸的晶圆表征。
用于测量d 33的双光束激光干涉仪(aixDBLI)提供经过验证的精度(x切割石英),max可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间仅为几秒钟。基于新的数据采集算法,测量速度提高了100倍。这使得 比较了以相同激发频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理,消除了样品弯曲的影响,这是使用原子力显微镜(AFM)进行此类测量的主要障碍。
测量:
-机电大信号应变和极化测量。
-压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果刚度值已知,则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。
-电气和机电性能疲劳。
aixDBLI系统的*性能使其适用于6“晶片上的MEMS(微机电系统)设备的压电和电气可靠性测试。该系统的 分辨率和可重复性优于2%,可大规模生产。整个装置包括位于减振室内的光学组件,TF Analyzer 2000和一些附加的模拟电路。
技术数据:
-解析度:1 pm经过x-cut Quartz测试
-位移/应变测量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V(可选)
-压电d 33系数:
偏压 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可选)
小信号:(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
-电致伸缩M 33:类似于d 33
-C(V)测量:
偏压 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可选)
小信号:(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
公司总部坐落于渤海之滨天津,地理位置得天独厚,交通运输便利,进出口贸易发达,同时在德国设有*,在上海设有办事处。基于世界市场商品结构多样化、客户需求更加个性化的大环境下,我们致力于为国内引进国外 的光电设备和*技术,在保证产品质量的前提下,开发更具性价比的采购渠道,简化采购程序,加速货物的进口速度,并注重加强团队整体素质和凝聚力,增强核心竞争力,以便给予客户更好的服务体验。