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品 名：在线高流量气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
产品特征：
1、超高纯度在线高流量气体过滤器；
2、所有哈斯特洛结构；
3、高温动态压力应用；
4、紧凑的尺寸和可变的端部连接；
5、宽范围流量从100到800 SLPM；
6、具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体；
7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
8、5ra电抛光表面防止内部污染；
9、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
10、100级制造、清洁及包装环境；
11、99%氦泄漏试验。