光电流测试探针台

特点：

满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试

可用于6英寸以内样品测试

可放置于手套箱内使用

形状轻巧，操作方便

台体规格：

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程：2英寸*3英寸

X-Y移动精度：10微米

样品台Z轴调节：可升降10mm

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：左右各一个针座平台，可放置2-6个探针座

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

光学系统：

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜

放大倍率：16X-200X

移动行程：水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm

光源：外置LED无极调节亮度环形光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

定位器：

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

线缆：同轴线/三轴线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

针尖材质：钨钢/铍铜

可选附件：

加热台；显示器；转接头；射频测试配件；屏蔽箱；光学平台

镀金卡盘；光电测试配件

根据要求定制，咨询：