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半导体接触角测试仪
晶圆半导体接触角仪
电路板接触角测试仪
SGC-B3Y200自动接触角测量仪 技术资料
一.主机图片:
二.功能概述:
本接触角测量仪特别订制的圆形样品台于晶圆(Wafer)样品的测试。通过测试液滴在晶圆样品表面形成接触角的大小,来检测其表面的洁净程度和评估表面处理的工艺效果。
三.技术指标:
技术项目 | 功能指标 |
1.接触角测量 | 1-1.分析算法:量高法、量角法、圆环法、椭圆法、切线法、Y-L法 1-2.具有左接触角、右接触角和平均接触角分开测试和比较功能 1-3.具有凹面、凸面、弧面、超亲水、超疏水等特殊表面分析功能 1-4.具有不规则形、非轴对称本征接触角的分析功能 1-5.具有自动分析接触角变化过程的批处理测试功能 |
1-6.测量范围:0°~180° 1-7.测量精度:±° 1-8.提供标定块,可随时对测量精度进行校准 1-9.测量分辨率:° | |
2.表面/界面张力测量 | 2-1.分析算法:手动法、自动法 2-2.测量范围:~2000mN/m 2-3.测量精度:±% 2-4.测量分辨率:mN/m |
3.表面能估算 | 3-1.估算模型:Fowkes、扩展Fowkes、Owens-Wendt、van OSS、 Wu调和平均法、状态方程法 3-2.可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、 路易斯酸分量、路易斯碱分量等 |
3-3.液体数据库:预置37种常用液体表面张力及其分量数据, 数据可直接调入用于表面能估算 3-4.液体库数据可自行添加、删除和修改 | |
4.润湿性分析 | 4-1.通过液体的表面张力和对固体的接触角可分析该固体的润湿程度, 包括粘附功、铺展系数和粘附张力 |
5.数据管理 | 5-1.通过试验模板保存试验信息、试验数据和图片 5-2.新建的试验模板保存后可重复调入使用 5-3.可对试验数据进行修改、删除和调入再分析等 5-4.试验数据可标注于图片上,并随图片一起保存 5-5.试验结果可导出至Word、Excel和PDF |
6.图像拍摄 | 6-1.单张拍摄、连续拍摄、视频录制和图片回放 6-2.可选择采用相机外觖发功能自动拍摄 |
7.光学成像系统 | 7-1.相机:300万像素、帧率36帧/秒 7-2.镜头:~×连续变倍、工作距离195mm 7-3.调焦范围:±;调焦精度: 7-4.调焦时软件自动检测清晰度,消除人为误差 7-5.水平和俯仰调整范围:±2° 7-6.背光源:LED冷光源+遮光板,亮度无极调节 |
8.滴液系统 | 8-1.滴液方式:软件控制进样器自动滴液和自动升降 8-2.小滴液量:μl/滴 8-3.滴液精度:±μl |
9.样品台 | 9-1.台面尺寸:Ø200mm 9-2.移动行程:X轴=200mm;Y轴=300mm;Z轴=50mm;θZ轴=360° 9-3.移动方式:手动旋钮控制三维移动定位 |
10.主机参数 | 10-1.尺寸:约W890×D550×H560mm 10-2.重量:约40kg 10-3.电源:1∮ AC220V 50HZ |
四.随机附件:
1.
控制器:1套
2. 微量进样器:2支
3. 接触角标定块:1块
4.
软件安装U盘:1个
5. 水平尺:1个
6. 工具:1套
五.选配附件:
1. 计算机(另购):
品牌:联想lenovo 类型:商用一体电脑
系统:Windows 10(正版) 屏幕尺寸:″
显卡:集成显卡 处理器:赛扬四核
内存:8GB 硬盘:256GB固态硬盘
2. 真空吸附样品台(升级):
用于晶圆样品固定,防止测试取放时滑落
3. 微量进样器(增购):¥元/支
10μl、50μl、100μl、250μl选择