产品信息：

◆主体材质采用进口航空铝，在保证稳定性的同时，保证线性移动精度

◆位移部分采用高精密交叉滚柱导轨，超高精度

◆整体驱动采用精密测微头，定量读数，精确控制

◆匹配多功能调节探针夹具，旋钮调节固定，既增加了调节度，又提高了系统的稳定性

◆升级1：增加了Z轴粗调，可以通过螺钉锁紧，方便可以快速调整探针

◆底部可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附5Kg，保证了整个系统的稳定性

◆此款探针座外形小，且结构比较长，适用于狭小得空间，且特别适合大尺寸晶圆测试

产品特点：
◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°旋转+60°倾斜

◆整体结构外形尺寸：198mm×83mm×82mm（LWH）

◆探针整体位移精度：3μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头

            进口三同轴线缆只能选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：1000V

产品应用：
适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等