真空加热/恒温卡盘
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基本参数说明：
1.台面为铝合金（因为铝合金导热性好），尺寸为4英寸/6英寸，平面度5μm
2. 4英寸的带3个真空吸附孔，6英寸的带4个真空吸附孔
3.无油气泵，7L/分钟，可以连续工作
4.可以通水或气体循环冷却
5.含加热功能，搭配日本岛电仪表温控台，加热温度300摄氏度，控温精度±1°，有效区域内温度均衡性±5°
6.可以选配制冷功能，温度﹣130摄氏度（真空环境下）
7.具备快速冷功能，配置水冷却接口，可连接水冷机实现快速降温功能！
