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产品信息:
直流I-V测试是表征微电子器件、工艺以及材料特性的基石。通常使用I-V特性分析,或者I-V曲线来决定器件的基本参数。
创谱仪器CPIV-SD半导体器件IV特性测试系统采用高精度,高漏电精度探针台、数字源表以及上位机软件组成;
产品特点:
◆CPZH系列探针台:4寸/6寸样品盘,漏电精度100fA,真空吸附,3微米探针移动精度,10微米针尖,2000万CCD成像,12寸显示器
◆吉士利数字源表:
(双电极)单通道选用2450,电压量程:20mV-200V;电流量程:10nA-1A
(三端器件等)双通道选用2602B,电压量程:100nV-40V;电流量程:0.1fA-10A
◆IV测试软件:
可以实现:单阶恒流输出、单阶恒压输出、电阻测量、多阶恒流输出、多阶恒压输出、电流扫描、电压扫描、电流电压波形输出、温度测量-PT100铂电阻
在测试的过程中,测量数据以图形和表格的方式实时显示,在切换到下一步骤后,显示数据界面重新进行初始化,同时系统信息窗口提示当前正在执行的步骤。
产品应用:
◆二极管特性的测量与分析
◆双极型晶体管BJT特性的测量与分析
◆MOSFET场效应晶体管特性的测量与分析
◆MOS 器件的参数提取
实测曲线:
实测双端器件IV测试曲线
实测三端器件IV测试曲线