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| | 3200质量流量控制器 |
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、最小0.02-1SCCM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重复性 | ±0.2%FS |
| 响应时间 | 1秒以内 |
| 耐压 | 1.0Mpa |
| 进口压力 | O.3Mpa |
| 动作压差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
| 温度范围 | 5-45℃ |
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
| 材质 | 本体SUS316L |
| 密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
| 电气接口 | DB9 |
| 模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
| 供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路连接 | 标配1/4F9 |
| 选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
| 重量 | 约1000g |
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针脚/棕色 | 阀门全开/全闭 |
| 2针脚/白色 | 0-5V输出 |
| 3针脚/红色 | +15VDC |
| 4针脚/黑色 | 电源COM |
| 5针脚/黄色 | -15VDC |
| 6针脚/灰色 | 0-5V输入 |
| 7针脚/绿色 | 输出COM |
| 8针脚/兰色 | 输入COM |
| 9针脚/紫色 | 阀门电源输出 |
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
