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| 性能/参数 | LKD13系列质量流量控制器 |
| 流量范围 | 0.5SCCM-1000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
| 标定气体 | 内置90条气体可选择 |
| 精度(调零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(调零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM |
| 重复性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范围 | 0.5-99% |
| 响应时间 | 100毫秒(调整) |
| 启动预热时间 | 1秒内 |
| 标准工况 | 25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
| 工作温度范围 | -10~-50℃(另有高温订制品) |
| 工作湿度范围 | 0-99%RH(非冷凝) |
| 工作压力 | 3Bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 阀门状态 | 常闭 |
| 材质 | SUS302/303/304不锈钢、密封圈VITON |
| 显示屏 | 背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
| 数字信号 | 标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
| 第二路模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
| 电气接口 | 标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
| 供电电压 | +24VDC |
| 消耗电流 | 2SLPM以内：250mA 5SLPM以上：750mA 注：1000SLPM消耗2000mA电流 |
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针(黑色) | 4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针 |
| 2针(棕色) | 不用连接如选第二路 输出信号可接 |
| 3针(红色) | RS232 输入串口RS232 输入串口 |
| 4针(橘色) | 模拟设定信号(订货时确认信号类型) |
| 5针(黄色) | RS232 输出串口 |
| 6针(绿色) | 0-5V或0-10V输出信号 |
| 7针(蓝色) | +24VDC供电 |
| 8针(紫色) | 接地(同时作用于电源、通讯、模拟) |
备注：以上是标配圆新8芯接线注解，其他接口
| 流量 | 压损(PSID)排放大气中 | 接口 |
| 0.5-2SCCM | 0.06 |
1/8NPT母螺纹 |
| 5-10SCCM | 0.08 | |
| 20SCCM | 0.07 | |
| 50-200SCCM | 0.07 | |
| 500SCCM | 0.08 | |
| 1SLPM | 0.10 | |
| 2SLPM | 0.18 | |
| 5SLPM | 0.10 |
1/4NPT母螺纹 |
| 10SLPM | 0.12 | |
| 20SLPM | 0.26 | |
| 40SLPM | 0.14 | 1/2NPT母螺纹 |
| 50SLPM | 0.17 |
3/4NPT母螺纹 |
| 100SLPM | 0.30 | |
| 250SLPM | 0.69 | |
| 500SLPM | 0.69 | |
| 1000SLPM | 1.65 | 2”NPT母螺纹 |
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干净《不能进水/油、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
八：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。
九：低压损系列，进口压力3Bar
