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| | 8500MC质量流量控制器 | 8550MC质量流量控制器 |
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-100SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
| 有效范围 | 2-99% | 5-99% |
| 重复性 | ±0.5%FS | |
| 响应时间 | 2秒 | 3秒 |
| 动作压差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
| 另有低压差、高压差产品可选， | ||
| 耐压 | 1.0Mpa | |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | |
| 温度范围 | 5-45℃ | |
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | |
| 材质 | 本体SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
| 密封圈VITON，选配NBR或FKM | ||
| 电气接口 | DB20 | |
| 模拟信号 | 0-5V、4-20MA输入/输出 | |
| 通讯 | RS232/485可选 | |
| LED显示 | 瞬时/累计流量、多点报警输出、可本地设定流量 | |
| 供电 | +24VDC、300mA | |
| 管路连接 | 标配1/4F9 | 标配3/8F9 |
| 选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
| 重量 | 约1200g | 约1500g |
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针脚 | 电源COM |
| 2针脚 | 电源COM |
| 3针脚 | 信号COM |
| 4针脚 | 电源+24VDC |
| 5针脚 | 电源+24VDC |
| 6针脚 | 模拟信号输入 |
| 7针脚 | 模拟信号输出 |
| 8针脚 | 空 |
| 9针脚 | 空 |
| 10针脚 | 设定范围检查信号输出 |
| 11针脚 | 上限/下限报警输出 |
| 12针脚 | 集成模拟输出信号 |
| 13针脚 | 事件报警模式1 |
| 14针脚 | 事件报警模式2 |
| 15针脚 | 事件报警模式3 |
| 16针脚 | 事件报警模式4 |
| 17针脚 | 事件报警模式5 |
| 18针脚 | RS232/485 TXD |
| 19针脚 | RS232/485 RXD |
| 20针脚 | 通讯COM |
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
八：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。
