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| 性能/参数 | LKO2系列质量流量控制器-OEM |
| 流量范围 | 0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM |
| 标定气体 | 内置7条气体可选择 |
| 精度(调零后) | ±(1.5%Rd+0.5%FS) |
| 重复性 | ±0.5%Rd |
| 漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范围 | 1-99% |
| 响应时间 | 100毫秒(调整) |
| 启动预热时间 | 1秒内 |
| 标准工况 | 25ºC & 14.696 psia |
| 工作温度范围 | 0~-50℃(另有高温订制品) |
| 工作湿度范围 | 0-90%RH(非冷凝) |
| 耐压 | 10Bar |
| 进口工作压力 | 4Bar内 |
| 安装方向 | 任意 |
| 阀门状态 | 常闭 |
| 材质 | SUS不锈钢、密封圈VITON |
| 数字信号 | RS485(ACSII、MODBUS-RTU) |
| 模拟信号 | 标准0-5V 选配:4-20mA |
| 电气接口 | 标准DB9 |
| 供电电压 | +24VDC，200mA |
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针 | 空 |
| 2针 | 空 |
| 3针 | RS485- |
| 4针 | 模拟信号输入 |
| 5针 | RS485+ |
| 6针 | 模拟信号输出 |
| 7针 | 电源+24VDC |
| 8针 | 电源地 |
| 9针 | 模拟信号和通讯COM端 |
| 流量 | 压损(PSID)排放大气中 | 接口 |
| 100SCCM | 10mbar | 1/8NPT母 |
| 100SCCM | 10mbar | |
| 20SLPM | 350mbar | 3/8NPT母 |
| 50SLPM | 500mbar |
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干净《不能进水/油、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
