EX250S-RJ系列质量流量控制器-数字式

量程(N2)

0-10、30、50、100、300、500SCCM

0-1、3、5、10SL.M(可定制o-5sccM)

满量程可切换30~99%

气体

非腐蚀气体

精度

+1.0KSP (>30FS);0.3%6Fs(30FS)

重复性

士0.25FS

有效范围

2-99%

响应时间

1秒以内

1.5秒以内

2秒以内

耐压

1.0Mpa

进口压力

0.5Mpa

工作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1+10-8pa - m2/s以下

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SuS316L

密封圈VITON、NBR、PTFE

电气接口

DB9

通讯接口

RS485 (Modbus-RTU)RJ45接口

输入信号

0-5V或4-20mA可选

输出信号

0-5V或4-20mA可选

供电

+24VDC或±15VDc可选

消耗电路

300mA

尺寸

76+30+76MM

管路连接

标配1/4F9

选配1/8F9、1/4IJR、RC1/4

重量

约500g

针脚/颜色

定义

1针脚/棕色

阀门全开/全闭

2针脚/白色

0-5V输出

3针脚/红色

+15VDC或+24VDC

4针脚/黑色

电源COM

5针脚/黄色

-15VDC 或 空

6针脚/灰色

0-5V输入

7针脚/绿色

输出COM

8针脚/兰色

输入COM

9针脚/紫色

空

针脚

定义

1针脚

485COM

2针脚

485COM

3针脚

空

4针脚

485-

5针脚

485+

6针脚

空

7针脚

空

8针脚

空