堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、可以任意角度安装

2、良好的线性——多段线性补偿

3、快速的响应

4、电磁阀使用寿命≥100万次

5、对零点漂移有效的抑制

6、化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

7、良好的选择性

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号	项目	S48 28/HMT
1	流量规格	(100,150,200)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装角度	任意
5	流量控制范围	5%～99%
6	流量测量范围	0～99%
7	响应时间	2s（T98，设定值的±2% F.S.）
8	工作环境温度	5℃～50℃
9	精度保证温度	15℃～35℃
10	精度	±1.0%F.S.
11	线性精度	±0.5%F.S.
12	重复性	±0.2%F.S.
13	工作压差	（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
14	耐压	3MPa
15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
16	接触气体材料	316L,PTFE,Viton氟橡胶
17	管路接头	Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″
18	供电电源	±15VDC(±5%)   +15V，＜100mA；-15V，＜200mA	+24VDC(宽电压+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供电时)
19	设定信号	(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20	流量输出信号	(0～5)VDC 负载能力≤3mA
21	电气接头	D-SUB15,D-SUB9
22	重量(kg)	2.8

其他类型