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CX-3/100粗糙度轮廓仪技术参数:
A/粗糙度测量
1、评定参数:Ra Ry Rz Rt Rq Rp Rv Rmax S Sm tp
2、测量范围:Ra 0.01μm-10μm
3、触针位移:±500μm
4、分 辩 率:0.001μm
5、示值误差:≤3%±5nm
B/轮廓测量
1、使用范围:X:0-100mm Z:0-450mm
2、测量范围:X:0-100mm Z:±3mm(可选配±6mm或±10mm)
3、分 辩 率:0.001μm、0.1μm
4、半经误差:0.1% - 0.8%