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SEC-400MK3 | |
气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 | 5〜100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-500MK3 | |
气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 | 5〜100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(满量程) |