由超纯水机制取二级水，并储存至水箱备用。氢气发生器缺水时，自动供给至氢气发生器。多台氢气发生器可串联使用，通过串联控制线由一台发生器控制其他发生器，实现产气均匀分配。（以两台设备为例控制图如下）

MOCVD氢气发生器主要参数及需求：
1、氢气纯度： 99.9999-99.99999%
2、氢气流量：1L-17L/min
3、输出压力：0-80psi（约0.5MPa）

4、压力稳定性：< 0.001MPa

5、供电电源：220V±10% 50HZ
6、消耗功率：8kw(HYDROGEN-17L) 
7、纯水需求：＞2MΩ&1L/h 
8、氢气容积：＜20L(HYDROGEN-17L) 
9、环境温度：1-40℃
10、相对湿度：<85% 
11、海拔高度：＜2000米 
12、外形尺寸：80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L) 
13、净   重：约200kg(HYDROGEN-17L) 



MOCVD氢气发生器主要特点：
1、仪器的全部工作过程均由程序控制，自动恒压、恒流，通过串联控制线，可实现多组并联使用。 
2、使用固态电解质（PEM）法产生氢气，以超纯净水原料，以固体聚合物为电解质，贵金属做电极有效的除湿装置，降低了原始湿度，纯度稳定。 
3、操作方便使用时只需打开电源开关即可产氢，使用后无需泄压，直接关闭电源即可。可连续使用，也可间断使用，产氢量稳定不衰减。 
4、安全可靠：配有安全装置，电解超纯水制氢，无腐蚀、无污染，配有压力控制，缺水自动监控，漏气自动检测。 
5、配备纯水系统，完成自来水进水完成大流量的氢气制备。