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真空室内光谱测量需要两个过真空装置,分别配合200微米和600微米芯径光纤使用,同时真空室内需要一根反射探头,室外需要一台氘卤钨组合光源以及一台 AvaSpec 光谱仪,可以搭建一套真空测量设备。
镀膜监控 等离子体监控等离子体监控
AvaSpec—Vacuum
光谱仪 | AvaSpec-ULS2048CL-EVO | UA光栅 (200-1100nm), 50 μm狭缝 OSC-UA, DCL-UV/VIS-200 |
光源 | AvaLight-DH-S-BAL | |
光纤 | FCR-7UV200-2-ME FC-UVIR200-2-ME | |
附件 | FC-VFT-UVIR200 FC-VFT-UVIR600 |