真空法兰球阀 - 气动球阀 (双动)
air to open, air to close

阀尺寸: 1” to 2”

法兰：KF(NW)

压力范围： 2atm ~ 1x10-4 Torr

泄漏率: 9x10-7 mbar.l/s

材质：316S.S. , PTFE

温度 ：Cylinder  80°C / Body 150°C

空气压缩连接头: KF25-2x 1/8”NPT , KF40~KF50-2x 1/4”NPT

选项：限位开关，电磁阀  电磁品牌：日本KANEKO，中国台湾XINWYANG，美国ASCO

气动执行器：气动执行器分为双作用式和单作用式(弹簧复位)，两个分体气缸，双活塞，拔叉式传动结构，容易制造大尺寸缸体，输出扭矩大，动作灵活平稳;气缸体内壁和活塞轴镀硬铬，有很好的抗磨性；所有滑动部件之司配有无油润滑轴承和导间坏以降低摩擦系数，延长使甩寿命。

两位五通电磁阀通常与双作用气动执行机构配套使用，两位是两个位置可控：开-关，五通是有五个通道通气，与气源连接，两个与双作用气缸的外部气室的进出气口连接，两个与内部气室的进出气口接连，具体的工作原理可参照双作用气动执行机构工作原理。

Htc真空提供中国台湾区最完善的真空阀门维修

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对于Htc真空所提供的产品和服务而言，高科技、高品质和高价值三者结合就是我们的核心竞争力，具有多年维修经验和良好商誉的Htc真空是客户的。

可维修应用于各种制程的真空阀：

CVD / PVD / Etch

可维修安装于各厂牌设备的真空阀：

AMAT / TEL / Varian / LAM / EATON