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| 配置方式 | |
| 立式、卧式配置 平面总成，球面总成 静态测量，相位移调制测量 | |
| 附件 | |
| 标准平面和球面参照镜 与ZYGOTM参照镜相容 标准衰镜 干涉仪支撑/调整用四脚座 水平七轴调整座 | |
| InliWave TM分析 | |
| 干涉条纹静态与相位移调制分析 完整的分析工具、影像加工、以及几何影像转换 干涉图转换成光学（OPD）或表面地图（surface map） 自动反复测量或自动化分析功能 相互连接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel软件 1 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得长度上，测量高度zui高点与zui低点间的距离 2 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取样长度上，距离高度中心线的均方根偏差值。 3 三平面检定方（3-Flat Test ）zui使用三个平面参照镜相互检测的测量方式。 4 重复性（Repeatability）的定义：对相同的组件进行100次量测，而每组量数据是由20个数据平均后取得，100组测数据统计分析，定义重复性即是一个标准差值。 | |
| 型录 | AK-100 Fizeau type |
| 激光光源 | |
| 波长/ 功率 | He-Ne ,632.8nm.2mw |
| 测量光束直径 | 4英寸（102mm） |
| 偏振性 | 圆偏振动（Circular Polarization） |
| 相干长度 | >100公尺 |
| 控制方式 | |
| 观察调整 | 4On/off 开关 |
| 变焦 | 旋转度盘 |
| 对焦调整 | 旋转钮 |
| 光强调整 | 旋转钮 |
| 模式切换 | 手动切换 |
| 光 学 部 分 | |
| 变焦范围 | 1X—6X |
| 对准调整 | 二点调整 |
| 观察调整角 | ±1.8度 |
| 预热时间 | ＜ 30分钟 |
| 视频规格 | |
| 摄像机 | RS170， 640X480像素 |
| 显示器 | 计算机含LCD屏幕或视频监视器 |
| 电气部份 | |
| 电 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz （50 watts） |
| 机械部份 | |
| 尺寸 | 338*190*254mm |
| 重量 | 14 kg （39 lb） |
| 测量性能（应用 InliWAare TM软件量结果） | |
| 系统准确度（三平面检定法）（3） | λ/100 , 峰谷值（1） |
| 峰谷值重复性（4）（PV Repeatability） | λ/3 00 , 峰谷值（1） |
| 均方值重复性能（2）（4）（RMS Repeatability） | λ/2,000 |
| 干涉条纹解像度（Fringe Resolution ） | 180条 |
