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ICP干法等离子刻蚀机
PLUTO-WIN是面向科研及企业研发客户使用需求设计的高性价比ICP等离子体系统。作为一个多功能系统,它通过优化的系统设计与灵活的配置方案,获得高性能ICP刻蚀工艺。该设备结构紧凑占地面积小,专业的机械设计与优化的自动化操作软件使该设备操作简便、安全,且工艺稳定重复性很好。 参考价面议等离子配件-真空油泵
凭借非常简单而可靠的设计,这些久经实际应用验证的旋片泵可提供优异的真空性能。安捷伦产品的质量和制造标准确保了 DS 旋片泵对轻质气体具有稳定的高抽速,同时还具有低噪声,返油量少以及使用寿命长的特点。该泵的双级设计使其可以在较低工作温度下使用,并限度减少低压强造成油蒸汽的回流现象,同时在 10-2 mbar 的低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果。DS 旋片泵符合欧盟认证 (CE) 和有害物质...... 参考价面议