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详细介绍

X射线光电子能谱仪

X 射线光电子能谱（XPS）是材料科学和发展的领域中泛使用的表面分析技术。

其原理是利用X射线束（一般会使铝阳极或镁阳极）作为入射源，照射在样品表面导致让光电子从原子的核心层被激发出。

根据测得的光电子所发出的电子动能，再依照能量守恒定律就可以知道电子的结合能，从而也就可知道样品表面是何物质。

X射线光电子能谱仪功能用途：样品表层元素及价态分析、深度分析、UPS紫外光电子能谱结构分析等

X射线光电子能谱仪技术特点：具有多种非单色化及单色化的X射线源，大功率罗兰圆提供更高的分析及能量分辨率，兼具Ar离子或Ar原子团簇模式刻蚀及紫外光电子能谱（UPS）测试等可选附件。