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特点：
·0.1和0.2µm的标准颗粒尺寸，可在0.1和5.0µm范围内定制
·的流量控制和动态的入口压力调节具备极快的清洁和恢复时间
·高流速保证了快速的清洗时间
·的流量调节，一体化设计保证了低维护量
·激光能量诊断，颗粒计数软件和的可追溯NIST标准4-20mA输出
应用：
·电子半导体制造超纯水系统颗粒计数检测
性能：
·测量粒径尺寸（µm）：0.1,0.2 系统流速>1L/min
·样品流速： 10ml/min,
·样品压力设置;30-100psig
·光源采用激光二极管
