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面议型号 | SP3200 | |
X1轴 | 测量范围 | 150mm |
分辨率 | 0.05μm | |
检测方法 | 莫尔光栅 | |
驱动速度 | 0.1 0.2,0.5,1mm/s 自定义 | |
测量方向 | 向后 | |
直线度 | 1.2μm/100mm | |
指示精度 | ±(1.5+2L/100)μm | |
Z1轴 | 测量范围 | 40mm |
分辨率 | 0.02μm | |
检测方法 | 光栅传感器 | |
指示精度 | ±(2+|2H|/40)μm | |
测针上/下运动 | 弧形运动 | |
测针方向 | 向下 | |
测针抬起 | 自动 | |
测针接触 | 自接触 | |
测针针尖 | 25μm硬质合金针尖 | |
Z立柱 | 行程 | 400mm |
方式 | 立柱随动 | |
光栅分辨率 | 0.05μm | |
光栅类型 | 反射式 | |
夹具 | 综合平台 | Y向调整、转角调整 |
平口钳 | 4寸正弦 | |
基础 | 材质 | 天然大理石 |
工作 | 尺寸 | 740*545*95 |
平台 | 自重 | ≧98.5kg |
仪器 | 材质 | 镀锌板 |
抗振 | 尺寸 | 1040*754*726 |
架子 | 自重 | ≧158kg |
测臂 | 长度 | 200mm |
直径 | 8mm | |
测针 | 类型 | 单切面 |
长度 | 32mm | |
直径 | 4mm | |
*粗糙度 | 可选装粗糙度测量模块 | |
*CNC功能 | 可选装XY工作平台、X加长平台、转角平台、自动调整平 |