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NE-PE02等离子体表面处理仪
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离子溅射仪NE-900依据二极(DC)直流溅射原理 参考价面议低温等离子体表面处理仪
低温等离子体表面处理仪主要由供气控制单元,真空室,等离子发生器,真空泵,等几部分组成,通过电容式耦合射频辉光放电的方式产生低温等离子体 参考价面议