工作原理介绍

利用化学反应、复分解反应等基本原理，与各种废气产生化学反应，生成稳定的无毒无害的化合物或者复合物，可直接用于修路、垃圾填埋等，不会产生二次污染。

工艺流程

半导体行业的含砷废气从机台端单独收集，形成独立的系统，砷烷磷烷的处理系统主要分为两个部分，d一阶段为Local Scrubber，即本地的干式吸附装置，采用的原理也是化学吸附，目前随着国j及各地区环保排放标准日驱严格，在含砷系统的Local Scrubber的基础上汇集到屋面时会在Central端再次进行干式吸附，使用的设备称为砷磷烷吸附塔，一般砷磷烷吸附塔也会配置一用一备模式，吸附后通过末端风机负压达标排放。

内部结构

砷磷烷也可以称含砷废气吸附装置，一般也可分为立式和卧式两种结构，如上述内部结构图，立式吸附塔侧进上出，卧式吸附塔侧进侧出，分为初效吸附剂和主反应药剂两个部分，砷磷烷的关键点就在于吸附剂的选择和使用。

设计条件

1. 废气风量

2. 进气中成分及各成分占比

3. 进气种含砷烷、磷烷及其他特气的浓度

4. 进气温度、湿度情况

5. 运行要求，24h连续运行或间歇运行

6. 安装位置环境

价格标准

在砷磷烷吸附塔进行报价的过程中，要先要根据现场实际需求进行选型设计，选型主要是参照上述描述的设计条件，z终根据现场空间设计出砷磷烷吸附塔的图纸及吸附剂用量，核算出合理的市场价格。

格林斯达专注环保领域19年，作为中芯国际SMIC认证的合格供应商，新三板上市企业，可提供完整的含砷废气、含磷废气等特殊气体治理工艺及设备设计，保z废气达标排放，欢迎随时咨询订购。