产品简介

等离子水洗Local Scrubber设备：去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解。

优势

1. 去除效率高，不需要燃料和热源，耗能低；
2. 处理高沸点废气，应用范围广；
3. 高温、反应速度快，
4. 设备占地面积小、便于安装；

本装置的直流电弧等离子体为非转移型，两电极区域不参与反应，只产生等离子体，产生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反应器的MTBF大于1年，反应室内腔的材质耐热和耐腐，具有四个进气口，装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区，对PFC温室气体的去除效率>90%。

性能参数

订购须知

关于价格：Local Scrubber尾气处理设备属于非标定制产品，价格需要根据企业废气排放量、浓缩倍数等因素决定，具体报价请联系我们。在格林斯达环保集团旗下环保设备厂采购Local Scrubber尾气处理设备设备的企业，一律享受厂家价格。