硅芯电阻率测试仪:HS-SFRT
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产品介绍:
合能阳光硅芯电阻率测试仪(HS-SFRT),是一款测量圆柱晶体硅电阻率测试仪器,可测量硅芯,检磷棒,检硼棒,籽晶等,由于仪器大大消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响,因此测试精度大大提高,量程实现了电阻率从10-4欧姆 . 厘米到10+4欧姆.厘米(可扩展)的测试范围。因此仪器具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点,是西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业、物理提纯生产多晶硅料生产企业、光伏及 半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻率测试的企业的帮手。
产品特点:
■ 适合检测硅芯,检磷棒,检硼棒,籽晶等圆柱晶体硅
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
■ 适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量电阻率的企业
■ 仪器消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响,因此测试精度大大提高
■ 测量精度高,除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
■ *的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差, 实现了测量的高精度和极宽的量程范围
■ 双数字表结构使测量更精确,操作更简便
■ 具有强大的测试数据查询及打印功能
■ 测量系统可实现自动换向测量、求平均值、值、最小值、平均百分变化率等
■ 四探针头采用进口红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性大大提高
■ 采用进口元器件,留有更大的安全系数,大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命
■ 测量电流采用高度稳定的特制恒流源(万分之五精度),不受气候条件的影响
■ 具有正测反测的功能,保证测试结果的准确性
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
推荐工作条件:
■ 温度:23±2℃
■ 湿度:≤65%
■ 无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射
技术指标:
■ 可测电阻率范围: 5 × 10-5 — 5 × 1 0+5 Ω· cm (可扩展)
■ 测量精度<3%
■ AC 220V ± 10% 50/60 Hz 功率: 12W
典型用户:
北京,浙江,四川,河北,河南等地的硅料生产企业及半导体光伏拉晶客户